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李同保
中国工程院院士，同济大学物理与科学工程学院教授
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详细介绍
李同保
中国工程院院士，同济大学物理与科学工程学院教授
个人履历：
李同保：男，1942年10月出生，河南温县人，光学与计量学专家，中国工程院院士，同济大学物理与科学工程学院教授、博士生导师，国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）名誉主任。1963年从同济大学毕业后进入中国计量科学研究院光学实验室工作；1969年加入中国共产党；1970年分迁到四川中国计量科学研究院分院工作；1980年4月至11月到美国国家标准与技术研究院从事辐射度学研究，并获得优秀客座研究人员奖；1983年至1999年5月，在中国测试技术研究院工作，历任助理研究员、副研究员、研究员；研究室主任、副院长，院长，名誉院长；1994年被遴选为首批中国工程院院士；1999年6月调入同济大学工作，担任教授、博士生导师；2002年担任上海计量测试学会理事长。李同保院士长期从事光辐射测量技术与标准研究，2003年起重点进行激光汇聚原子实现纳米光栅长度标准研究，2005年在中国国内首次制备出纳米光栅结构标样，还从事大面积原子光刻纳米栅节距标准样品研究。八十年代完成的多项重大科研项目获国家级奖，包括：负责研制的“高照度标准”、“光度基准与光通量副标准”项目、主持的“用硅光电二极管自校准技术实现400-900nm光谱辐射绝对测量”项目、量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目等。1978年获全国科学大会奖，1985年获国家科技进步奖一等奖，1989年获国家科技进步奖一等奖，2025年获国家科技进步奖一等奖。
论文代表：
Nonlinear real-time correction in homodyne interferometers by multi-area spatial sampling and dimensionality-reduced ellipse fitting,Applied Optics,2025.10.1364/ao.547125;
Mechanisms to improve measurement accuracy through differential signaling in homodyne interferometers,Optics Letters,2025.10.1364/OL.545221;
Metrological validation of chromium atom lithography gratings via 633 nm wavelength traceability chain,Optics & Laser Technology,10.1016/j.optlastec.2025.114136;
Fabrication of 53.2nm pitch self-traceable gratings by laser-focused atomic deposition combined with extreme ultraviolet interference lithography,Optik,10.1016/j.ijleo.2023.170735;
Self-traceable grating reference material and application,Optics and Precision Engineering,10.37188/ope.20223021.2608;
Hybrid application of laser-focused atomic deposition and extreme ultraviolet interference lithography methods for manufacturing of self-traceable nanogratings,Nanotechnology,2021.10.1088/1361-6528/abdcec;
Deposition of Cr Atoms Using Switching-Detuning Light Mask for Direct Atom Lithography,Current Nanoscience,10.2174/1573413714666180925123758;
Realization of orthogonality in two-step laser focused Cr atomic deposition - ScienceDirect,Optik,10.1016/j.ijleo.2019.02.023;
Deposition of Cr Atoms Using Switching-Detuning Light Mask for Direct Atom Lithography,Current Nanoscience,2018.10.2174/1573413714666180925123758;
Displacement Determination of the Guard Electrode for the New Calculable Capacitor at NIM,IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement,10.1109/TIM.2016.2583238;
Physical insight toward electric field enhancement at nodular defects in optical coatings,Optics Express,2015.10.1364/OE.23.008609;
Fabrication and measurement of traceable pitch standard with a big area at trans-scale, Chinese Physics B, 2014, 23(9): 090601(1-5).
Investigation of shadow effect in laser-focused atomic deposition, Applied Surface Science, 2012, 261: 464-469.
邀请老师演讲、授课请致电：19821197419 阎老师[微信同号]
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